電子束蒸發(fā)的原理是基于電子在電場作用下，獲得動能打到蒸鍍材料上，使蒸鍍材料加熱汽化，而實現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。
電子槍是電子束蒸發(fā)源。它由燈絲及其連接的陰極、聚束極、和陽極組成。其中燈絲和陰極通常由鎢或鉬材料制成。
電子槍加熱特點：
1、電子槍加熱比電阻加熱具有更高的能量密度，可以蒸發(fā)高熔點材料，如W、Mo、Al2O3等，并可得到較高的蒸發(fā)速率；
2、被蒸發(fā)材料置于水冷銅坩堝內(nèi)，可避免坩堝材料污染，可制備高純薄膜；
3、電子槍蒸發(fā)粒子動能大，有利于獲得致密、結(jié)合力好的膜層。